產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
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序號 |
項目名稱(chēng) |
技術(shù)要求(含公差) |
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1 |
真空抽氣功能 |
分子泵抽速≥1200L/s，機械泵抽速≥8.0L/s |
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2 |
真空測量 |
測量量程：大氣～10-7Pa。 |
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3 |
真空室 |
真空室材料為304不銹鋼且表面拋光；內直徑Ф560mm±30mm |
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4 |
真空室烘烤 |
烘烤溫度≥100℃。 |
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5 |
磁控靶及電源系統 |
磁控靶共焦安裝于真空腔室上蓋，且中心軸與真空室豎直中心軸成39°±2°，靶基間距在90 mm～130mm 之間可調 |
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6 |
樣品架 |
單工位樣品架，自轉速度約為0～20 轉/min。五工位樣品架，一次可裝卡5 個(gè)直徑Φ65mm 樣品工裝，公轉速度0～10 轉/min，自轉速度0～30 轉/min。 |
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7 |
工藝氣體 |
每套磁控靶配置2 路進(jìn)氣氣路（Ar、N2），共計4 路，每路配氣體質(zhì)量流量控制器（量程為20sccm）和顯示儀。 |
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8 |
真空腔體極限真空度 |
≤3.0×10-6Pa |
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9 |
工作真空度 |
分子泵滿(mǎn)轉后1 小時(shí)30分鐘，真空度達到2.0×10-4Pa |
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10 |
漏率 |
<1×10-8Pa.L/s |
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勵磁鍍膜-手套箱綜合制備系統
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