產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
勵磁鍍膜-手套箱綜合制備系統主要是利用薄膜制備系統對粉狀樣品進(jìn)行薄膜制備和壓鑄成型。
薄膜制備子系統
1、真空度及漏率
1.1、極限真空：≤8.0×10-6Pa；
1.2、系統短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開(kāi)始抽氣，40分鐘可達6.0×10-4Pa；
1.3、總漏率：8.0×10-8Pa·L/s；
1.4、系統帶有旁抽功能。
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磁控濺射真空室
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多功能物理氣相沉積設備
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