電子束真空作用室系統
電子束真空作用室系統
一、設備主要技術(shù)指標和要求：
1、電子束真空作用室極限真空度：空載真空需小于1×10-6Pa；工作真空度：5×10-6Pa；系統漏率為：≤1×10-11Pa m3/s；
2、電子束真空作用室內尺寸為1000mm（長(cháng)）×700mm（寬）×520mm（高），全無(wú)磁不銹鋼（316L）雙升降上蓋開(kāi)門(mén)結構；全部采用氬弧焊接，內焊縫，外部連續加強焊接，外表面焊接加強筋，外表面拋光處理；氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，除上蓋采用進(jìn)口氟橡膠圈密封外，其余為無(wú)氧銅圈及銦絲金屬密封；
3、作用室內部采用光學(xué)面包板，利用焊接波紋管使其支撐與作用室支撐隔離減震；
4、真空抽氣采用總抽速約為1450L/s的兩臺分子泵和前級泵抽速約為10L/s的干泵。
5、系統帶有真空連鎖，斷水保護功能。
二、設備組成及實(shí)施方案：
該系統主要由真空抽氣及測量系統、真空作用室、觀(guān)察窗組件、雙升降機構、主臺架系統、面包板及波紋管支撐系統、面包板減震支撐臺架系統、電控系統、輔助系統等部分組成。
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