精密物理實(shí)驗用靶環(huán)境模擬實(shí)驗系統
一、功能要求和主要技術(shù)指標：
1、整體結構：采用單室球形真空室前開(kāi)門(mén)結構，球形真空室固定在隔振平臺上，防止振動(dòng)對系統的影響。分子泵通過(guò)隔振波紋管機構與真空室連接，并且分子泵單獨固定。全部采用氬弧焊接，外表面電解拋光處理。
2、抽氣系統：
2.1、球形室極限真空度：≤1×10-3Pa；
2.2、系統漏率：1×10-8PaL/s；
2.3、抽氣機組：采用國產(chǎn)抽速為620L/s的分子泵1臺，進(jìn)口抽速為8L/s干泵1臺及國產(chǎn)手動(dòng)閘板閥組成真空抽氣系統。
3、樣品架系統：
3.1、振動(dòng)發(fā)生平臺：
振動(dòng)發(fā)生平臺有兩種振動(dòng)方式，一種是水平方向的振動(dòng)，另一種是垂直振動(dòng)；
可以單獨振動(dòng)，也可組合振動(dòng)。
3.1.1、水平方向振動(dòng)：振幅的范圍0～1mm之間可調；
3.1.2、垂直方向振動(dòng)：振幅的范圍0～1mm之間可調；
3.1.3、振動(dòng)頻率：0～100HZ；
3.1.4、加速度：10G；
3.2、樣品X，Y, Z軸移動(dòng)范圍分別為±5mm，全部電動(dòng)控制；
3.3、樣品轉動(dòng)： 1～10轉/分鐘，0°～360°旋轉，電動(dòng)控制。
4、樣品加熱：樣品升溫范圍為室溫～700℃，溫度測量精度優(yōu)于5℃，升溫速率可控、可調；采用熱電偶進(jìn)行控溫加熱，采用紅外測溫儀在真空室外進(jìn)行測溫。
5、激振器：選用小型電動(dòng)式振動(dòng)臺采用稀土釹鐵硼永磁材料；具有體積小、重量輕、頻率范圍寬、結構合理、可靠性高的特點(diǎn)。
6、 CCD采集系統：
針對樣品在加熱、振動(dòng)前后各組件發(fā)生形貌或位置變化情況進(jìn)行檢測，提供測量樣品振動(dòng)前后樣品球與樣品觀(guān)察窗邊緣的相對位移量，完成表面狀態(tài)精密檢測和標定，為組件加熱和振動(dòng)過(guò)程提供量化參考。
測量精度：5μm。
7、隔振裝置：整個(gè)系統安裝在隔振平臺上（除分子泵外），分子泵通過(guò)焊接波紋管和隔振棒與真空室連接，樣品臺有獨立的減震阻尼平臺。
8、設備具有斷水斷電連鎖保護功能，有防止誤操作保護功能。
9、計算機控制系統：
(1) 真空的采集顯示(2) 溫度的顯示以及溫控表的控制(3) 樣品以及加熱爐的運動(dòng)控制(4) 振動(dòng)系統控制(5) 樣品圖像采集顯示以及樣品組件相對位移測量。
二、主要技術(shù)性能指標及實(shí)施方案：
本系統為單室結構的振動(dòng)成像檢測系統，主要由真空抽氣及測量系統、樣品架系統、樣品加熱系統、激振器敲擊系統、CCD系統、電控系統、輔助系統等組成。
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