產(chǎn)品介紹
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陰極轉移系統
所屬分類(lèi)
產(chǎn)品中心
產(chǎn)品描述
參數
主要技術(shù)指標:
1、真空室系統真空漏率優(yōu)于5×10-8Pa·L/s.
2、真空腔室系統由陰極激活室和管殼銦封室兩部分組成,陰極激活室采用立式雙層水冷圓柱結構;真空室內尺寸約φ250×高270mm,管殼銦封室采用立式雙層水冷圓柱結構,真空室內尺寸約φ250×高270mm,兩個(gè)真空室通過(guò)DN100管道氬弧焊連接在一起。
3、陰極激活室及管殼銦封室各配備一套加熱系統,最高加熱溫度為400攝氏度。
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傳感器研制專(zhuān)用磁控濺射裝置
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PQ –Ⅰ 玻璃泡充銣真空系統
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