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PQ –Ⅰ 玻璃泡充銣真空系統
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PQ –Ⅰ 玻璃泡充銣真空系統

所屬分類(lèi)
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PQ–Ⅰ?玻璃泡充銣真空系統???????一、主要用途：保密。二、技術(shù)指標：1.極限真空度：≤3×10-6Pa；真空漏率：≤1×10-7PaL/S；2.系統配備能夠經(jīng)受長(cháng)時(shí)間（48小時(shí)以上）高溫烘烤（玻璃段溫度達450℃，采用烘箱烘烤；金屬段200℃，采用烘烤帶烘烤）的溫控和加熱系統；3.真空除氣溫度：室溫～200℃；4.為了混氣和充氣方便和精確：混氣罐（容積2L）和真空室（容積為5L），配置高精
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產(chǎn)品描述
參數

一、技術(shù)指標：

1. 極限真空度：≤3×10-6Pa；真空漏率：≤1×10-7PaL/S；

2. 系統配備能夠經(jīng)受長(cháng)時(shí)間（48小時(shí)以上）高溫烘烤（玻璃段溫度達450℃，采用烘箱烘烤；金屬段200℃，采用烘烤帶烘烤）的溫控和加熱系統；

3. 真空除氣溫度：室溫～200℃；

4. 為了混氣和充氣方便和精確：混氣罐（容積2L）和真空室（容積為5L），配置高精度電容薄膜規，量程分別為1～1000Torr和0.1～100Torr，混氣和充氣均通過(guò)微調閥手動(dòng)控制；

5. 烘箱采用矩形結構，內部有效尺寸：780mm（長(cháng)）×450mm（寬）×600mm（高），內部采用電阻加熱方式，加熱總功率6Kw；

6. 所有加熱部分采用PID程序控制；控溫精度±1℃；

二、系統組成：

    本系統主要由真空烘烤系統、真空抽氣系統、真空及壓力測量系統、充配氣系統、超高真空容器及相關(guān)部件系統、冷水機系統、臺架系統、電控及計算機控制系統組成。

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