1、真空度及漏率：1.1、系統極限真空度≤6.7×10-5Pa，系統漏率優(yōu)于1.0×10-7Pa.L/s；1.2、真空抽氣機組采用分子泵+干泵的抽氣機組；1.3、真空獲得系統分為快抽和慢抽兩種抽氣方式。2、真空罐體：真空罐體材料選擇316L不銹鋼，罐體內部尺寸不小于直徑Φ50mm×100mm。3、加熱爐：3.1、加熱爐外殼溫度要低于200℃；3.2、加熱爐內最高加熱溫度800℃，控溫精度±1℃；3.3、加熱均溫區：φ50×50mm（真空罐體底部）；3.4、程序控溫，PID調節。4、氣體降溫循環(huán)系統：采用氬氣循環(huán)的方式對真空罐體的外殼管道進(jìn)行降溫，以避免高溫對罐體上蓋密封口的氟橡膠圈造成損壞。5、電控系統：電控系統主要有以下功能：5.1、真空機組控制；5.2、真空度的顯示和溫度控制；5.3、系統的聯(lián)鎖保護功能。