主要技術(shù)性能指標：
1、整體結構：
采用單室立式上蓋電動(dòng)結構，真空室上面安裝五工位樣品臺，真空室下面向上安裝MANTIS迷你電子束蒸發(fā)源，配有真空抽氣及測量系統。
真空室安裝在開(kāi)放式鋁型材制作的臺架上，真空室外表面電解拋光處理。
2、鍍膜方式：迷你型電子束蒸發(fā)源安裝在真空室的下方，向上蒸發(fā)鍍膜，每次只對準一個(gè)樣品進(jìn)行鍍膜，其余四個(gè)樣品不在鍍膜區域內，防止交叉污染。
3、真空指標：
3.1、系統極限真空度優(yōu)于3.0×10-5Pa，系統漏率：1.0×10-7Pa·L/s；
3.2、抽氣機組采用分子泵（國產(chǎn)）+干泵（國產(chǎn)）組成的抽氣機組。
4、樣品臺系統：
4.1、樣品臺：五工位樣品臺，樣品臺上安裝樣品托，共五套樣品托；
4.2、樣品可自轉，轉速0～30轉/分鐘，并且樣品可公轉換位；
4.3、樣品臺帶有加熱功能，每次只加熱一個(gè)要鍍膜的樣品，加熱爐加熱溫度為室溫～700℃，控溫精度±2℃，程序控溫，升溫、恒溫時(shí)間可控，并要做樣品溫度標定曲線(xiàn)；
4.4、一個(gè)樣品托可放置1片樣品。
5、迷你電子束蒸發(fā)源：
5.1、電子束蒸發(fā)源采用Mantis公司生產(chǎn)的迷你型 QUAD-EV系列四坩堝電子束蒸發(fā)源，蒸發(fā)源自帶擋板及升降調節機構（甲方自備）；
6、系統配有照明燈，并且采用纏繞加熱帶的方式進(jìn)行烘烤除氣。
7、設備具有斷水斷電連鎖保護功能，有防止誤操作保護功能。
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