服務(wù)熱線(xiàn):

產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
130
130-1

真空腔體子系統

所屬分類(lèi)
真空靶室設備
130
130-1
產(chǎn)品描述
參數

技術(shù)指標和要求:1) 系統真空:

1.1、系統極限真空度優(yōu)于1×10-4Pa(空載);1.2、工作真空度優(yōu)于5×10+Pa,抽氣時(shí)間≤5小時(shí);1.3、漏率:系統總體漏率優(yōu)于1×10-7Pa·L/s;

1.4、系統采用進(jìn)口分子泵作為主抽泵,進(jìn)口羅茨泵+螺桿干泵作為前級泵;

2) 焊接波紋管組件:

該系統前端安裝焊接波紋管組件,通導DN500,焊接波紋管組件可調節距離及角度;

3) 800真空腔室系統:

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產(chǎn)品展示

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