模擬靶室及精密調節等部件A
一．技術(shù)指標
1.模擬靶室單元主要技術(shù)指標如下：
（1）材質(zhì)：304不銹鋼；
（2）內徑：φ1300±5mm，靶室中心離地面高度為1400mm，空載真空度優(yōu)于1.0×10-4Pa，整體漏率小于1.0×10-7Pa·L/s；
（3）法蘭接口：DN500×4；DN400×8；DN320×4；DN250×1；DN160×2；CF40×3。
（4）靶室法蘭止口中軸線(xiàn)與基準（球心）偏差小于±3mm；
（5）在加工法蘭焊接孔時(shí)，要求保證孔位置的經(jīng)緯度誤差不大于±1°；
（6）靶室法蘭載重能力不小于200Kg（重心離法蘭端面距離為800mm）；
（7）模擬靶室支撐需采用隔振器，隔振效果：模擬靶室振幅小于2μm（真空機組及制冷機處于工作狀態(tài)）。
2.真空腔體及附屬單元主要技術(shù)指標如下：
（1）真空腔體材質(zhì)：304不銹鋼；
（2）真空腔體主要由圓柱形腔體和方形腔體兩部分組成。其中圓柱形腔體大小根據內部搭載部件大?。ㄗ畲筇幊叽鐬?00mm）進(jìn)行設計，方形腔體長(cháng)×寬×高：700mm×815mm×742mm?？蛰d真空度優(yōu)于1.0×10-4Pa，整體漏率小于1.0×10-7Pa·L/s；
（3）方形腔體上法蘭口共6個(gè)，法蘭接口：DN400接口4個(gè)，DN630接口1個(gè)，DN670接口1個(gè)， DN400法蘭載重能力不小于200Kg（重心離法蘭端面距離為800mm）；
（4）方形腔體中心距離地面高度為1400mm，方形腔體4個(gè)DN400法蘭中心線(xiàn)交點(diǎn)與模擬靶室中心距離1900mm（DN500焊接波紋管自由長(cháng)狀態(tài)）；
（5）真空腔體支撐需采用隔振器，隔振效果：真空腔體振幅小于2μm（真空機組及制冷機處于工作狀態(tài)）。
3.長(cháng)程傳送及附屬單元主要技術(shù)指標如下：
（1）長(cháng)程傳送單元對靶點(diǎn)（低溫制冷單元最前端）的傳輸行程：不小于2200mm（傳輸起點(diǎn)為方形腔體4個(gè)DN400法蘭中心線(xiàn)交點(diǎn)往后200mm處）；
（2）長(cháng)程傳送單元負載能力（不含配重）：不小于200Kg；
（3）長(cháng)程傳送單元對靶點(diǎn)的雙向重復定位精度：優(yōu)于±25μm(x, y, z)；
（4）靶點(diǎn)定位穩定性：小于±5μm/hr；
（5）電機、導軌及線(xiàn)纜須滿(mǎn)足真空環(huán)境的使用要求。
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