產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
主要技術(shù)指標
1、真空抽氣及測量系統
1.1、極限真空度≤5.0×10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后，24h后）。
1.2、系統漏率≤1.0×10-7Pa·L/s。
1.3、系統短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開(kāi)始抽氣，45分鐘可達到4.0×10-4Pa。
2、真空腔室系統
2.1、真空腔室采用單室圓筒形上蓋電動(dòng)升降結構，方便物料的取放和實(shí)現樣品臺的拆裝、清洗。
2.2、真空腔室尺寸約Ф450mm×高430mm，選用304不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行電解拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封。
3、磁控靶及電源系統
3.1、磁控靶：3英寸磁控靶3個(gè)
3.2、電源：RF：500W，1臺；DC：1000W，2臺。
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超高真空磁控濺射設備
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磁控濺射儀
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傳 真：024-89422961
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