一、技術(shù)指標 ? ? 1、激光靶室系統漏率優(yōu)于1×10-8Pa?L/s； ? ? 2、壓縮池系統及作用室系統與光學(xué)平臺之間安裝水冷板，水冷板厚度40mm； ? ? 3、壓縮池系統與作用室系統通過(guò)ISO50法蘭連接，兩個(gè)腔體內面包板之間最小距離160mm。 二、設備組成 ? ? 激光靶室系統主要由真空抽氣及測量系統、壓縮池系統、作用室系統及輔助系統等組成。