一、組成及功能介紹 由沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)的TAZKSJL-1100型真空管式爐，設備主要由抽氣系統、石英管組件、過(guò)渡室系統、加熱爐系統、樣品架系統、電控系統等組成，具有在微波基板生產(chǎn)過(guò)程中，進(jìn)行陶瓷基板退火處理、真空燒結的功能。 二、性能指標 1、設備結構形式：臥式，單工位樣品尺寸80mm×80mm×1mm，一次最大可處理100片。 2、控制方式：手動(dòng)。 3、真空度指標： 3.1、主機系統空載極限真空度：6.7×10-5Pa； 3.2、真空抽速：分子泵正常工作后，系統40分鐘后，真空度進(jìn)入10-4Pa。 4、加熱系統： 4.1、加熱爐（外加熱）最高加熱溫度：1100℃。 4.2、均溫區約為Φ150mm×600mm；加熱到800℃，恒溫60min后，溫度均勻性達到±5℃。 4.3、爐管采用石英管材料，內徑尺寸約為：Φ150mm×1610mm。 5、加熱方式：外加熱方式對石英管進(jìn)行加熱。