產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
產(chǎn)品描述
參數
一、技術(shù)指標
1、激光靶室系統漏率優(yōu)于1x10~Pa*L/s;
2、壓縮池系統及作用室系統與光學(xué)平臺之間安裝水冷板，水冷板厚度40mm;
3、壓縮池系統與作用室系統通過(guò)ISO50法蘭連接，兩個(gè)腔體內面包板之間最小距離160mms
二、設備組成
激光靶室系統主要由真空抽氣及測量系統、壓縮池系統、作用室系統及輔助系統等組成。
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上一個(gè)
熱蒸發(fā)鍍膜系統
下一個(gè)
質(zhì)譜監測真空裝置試制
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傳 真：024-89422961
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