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產(chǎn)品介紹
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微波等離子體（BEH2,BED2制備系統）

一、主要用途:??通過(guò)微波產(chǎn)生等離子,制備氯、氫的鈹化物。二、技術(shù)指標:1.極限真空：6.7×10-5Pa，工作真空：6.7×10-4Pa（2h）；2.樣品臺：有效尺寸Φ75mm；升降距離50mm；最高可加熱至300℃，控溫精度±1℃，溫度可控可設可調；3.坩堝蒸發(fā)溫度：最高1400℃；控溫精度±8℃；4.樣品升降距離：±50mm；5.兩路質(zhì)量流量計控制，流量范圍：一路0～100sccm；一路0～
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產(chǎn)品描述
參數
一、主要用途:
    通過(guò)微波產(chǎn)生等離子,制備氯、氫的鈹化物。
二、技術(shù)指標:
1. 極限真空：6.7×10-5Pa，工作真空：6.7×10-4Pa（2h）；
2. 樣品臺：有效尺寸Φ75mm；升降距離50mm；最高可加熱至300℃，控溫精度±1℃，溫度可控可設可調；
3. 坩堝蒸發(fā)溫度：最高1400℃；控溫精度±8℃；
4. 樣品升降距離：±50mm；
5. 兩路質(zhì)量流量計控制，流量范圍：一路0～100sccm；一路0～20sccm；
6. 微波源：微波頻率2.45GHz，輸出功率：0～500W，脈沖連續可調。
三、系統組成:
     主要由真空機組、真空主室、真空副室、樣品臺（可升降、加熱、水冷）、微波源、氣路系統、噴射小孔及擋板、加熱控溫系統、Be蒸氣加熱系統、電控系統、臺架等組成。
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