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238

三工位陰極轉移系統

所屬分類(lèi)
陰極制備設備
主要技術(shù)指標：工作真空度設備底板處測量：工作真空度優(yōu)于5×10-5Pa；鐘罩頂部測量：工作真空度優(yōu)于8×10-5?Pa；極限真空度設備底板處測量：極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa；鐘罩頂部測量：極限真空度優(yōu)于8×10-6Pa；烘烤溫度范圍室溫-400℃；升溫速率180min內由常溫升至400℃；溫度均勻性±2.5℃；MCP腔室擋板MCP腔室擋板關(guān)閉時(shí)，與地板間距≤1mm；MCP局部加熱溫度范圍室溫-
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產(chǎn)品描述
參數

主要技術(shù)指標：

工作真空度

設備底板處測量：工作真空度優(yōu)于5×10-5Pa；

鐘罩頂部測量：工作真空度優(yōu)于8×10-5 Pa；

極限真空度

設備底板處測量：極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa；

鐘罩頂部測量：極限真空度優(yōu)于8×10-6Pa；

烘烤溫度范圍

室溫-400℃；

升溫速率

180 min內由常溫升至400℃；

溫度均勻性

±2.5℃；

MCP腔室擋板

MCP腔室擋板關(guān)閉時(shí)，與地板間距≤1mm；

MCP局部加熱溫度范圍

室溫-200℃；

MCP局部加熱溫度升溫速率

升溫速度大于15℃/min；

鐘罩表面溫度

不超過(guò)50℃。

 

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