增強器可見(jiàn)光轉移陰極轉移制作
增強器可見(jiàn)光轉移陰極制作系統
一、設備使用目的：制備各種光學(xué)管。
二、設備組成：
該系統主要由真空系統、烘箱烘烤加熱及控制系統、臺架系統、陰極制備室及銦封管道系統、電動(dòng)雙升降系統、陰極室與銦封室之間的連接管路（包括軟連接系統）、樣品傳遞系統、樣品升降及旋轉機構等組成.
三、主要技術(shù)指標要求：
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主體工作臺架尺寸 |
約2220（長(cháng)）×1440（寬）×1100mm（高） （最終以實(shí)際設計圖紙為準） |
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烘箱尺寸 |
約1200（長(cháng)）×1200（寬）×1000（高）（內部）；1400（長(cháng)）×1400（寬）×1100mm（高）（外部），（最終以實(shí)際設計圖紙為準） |
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極限真空 |
3×10-8Pa |
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檢漏漏率 |
1×10-9Pa.L/S |
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烘箱烘烤最高溫度 |
400℃ |
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銦封室內烘烤溫度 |
400℃ |
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管道烘烤溫度 |
180℃ |
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溫度精度 |
±2℃ |
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溫度程控（烘箱） |
8段以上，可編程 |
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烘箱升降系統 |
雙軸 |
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烘箱升降高度 |
0～900mm（雙軸） |
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系統工作最大高度 |
<3.5m (烘箱升至最高時(shí)設備總高) |
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