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產(chǎn)品介紹
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YJ-Ⅲ 變像轉移陰極及銦封制作系統
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YJ-Ⅲ 變像轉移陰極及銦封制作系統

所屬分類(lèi)
陰極制備設備
一、系統用途：　　制備近貼管和條紋管。二、技術(shù)指標：1.可制作近貼管（Φ85×50）和條紋管（Φ85×380），不同時(shí)進(jìn)行；2.真空系統極限真空度：6.7×10-8Pa；3.真空系統烘烤溫度：400oC，程序控溫，采用烘箱烘烤，電動(dòng)雙升降結構；4.烘箱外管道烘烤溫度：250oC；（烘烤帶烘烤，直接插入220V電源插座）5.兩套樣品交接：一套在陰極制備室，兩維運動(dòng)；一套在銦封室，傳遞桿自由度：X、Y
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產(chǎn)品描述
參數

一、系統用途：
　　制備近貼管和條紋管。
二、技術(shù)指標：
1. 可制作近貼管（Φ85×50）和條紋管（Φ85×380），不同時(shí)進(jìn)行；

2. 真空系統極限真空度：6.7×10-8Pa；

3. 真空系統烘烤溫度：400ºC，程序控溫，采用烘箱烘烤，電動(dòng)雙升降結構；

4. 烘箱外管道烘烤溫度：250ºC；（烘烤帶烘烤，直接插入220V電源插座）

5. 兩套樣品交接：一套在陰極制備室，兩維運動(dòng)；一套在銦封室，傳遞桿自由度：X、Y、Z擺動(dòng)，360º旋轉四維，各自由度必須滿(mǎn)足樣品交接，傳遞銦封和定位要求；

6. 銦封室和制備室之間采用耐烘烤高溫擋板閥連接；

7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。

三、系統組成：
　　真空抽氣系統、真空測量系統、陰極制備室系統、陰極制備室內烘烤加熱及控制系統、臺架系統、電控系統、電動(dòng)雙升降系統、樣品傳遞系統等組成。

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