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(十五)多通道軟X光能譜儀的支撐與調節機構
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(十五)多通道軟X光能譜儀的支撐與調節機構

所屬分類(lèi)
分析測試設備
1、主要技術(shù)指標:a)?譜儀支撐與調節機構數量為3套,機構包括連接組件、調節組件、濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件、瞄準系統等。b)?連接組件保證譜儀與安裝法蘭匹配;c)?系統有15個(gè)通道,通道由準直孔1,準直孔2,限孔光闌(Φ5mm),濾片盒,平面鏡與XRD組成,其中5個(gè)通道無(wú)平面鏡,各部件在探測光路上的排布如圖1所示,其中濾片,平面鏡,XRD不屬于支撐與調節機構部件;d)?兩準直孔之間距離大于
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產(chǎn)品描述
參數

1、 主要技術(shù)指標:

a) 譜儀支撐與調節機構數量為3套,機構包括連接組件、調節組件、濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件、瞄準系統等。

b) 連接組件保證譜儀與安裝法蘭匹配;

c) 系統有15個(gè)通道,通道由準直孔1,準直孔2,限孔光闌(Φ5mm),濾片盒,平面鏡與XRD組成,其中5個(gè)通道無(wú)平面鏡,各部件在探測光路上的排布如圖1所示,其中濾片,平面鏡,XRD不屬于支撐與調節機構部件;

d) 兩準直孔之間距離大于150 mm,準直孔法蘭有鉛屏蔽,前準直孔位置加1千高斯的橫向(與光軸垂直)磁場(chǎng)以偏轉帶電粒子;

e) 限孔光闌(Φ5mm)距離靶點(diǎn)與XRD靈敏面的光程比不小于2:1,光闌架可以安裝中性濾片;

f) X光濾片位于中性濾片與平面鏡之間,由另外單獨濾片架安裝;

g) X光濾片與中性濾片的濾片盒尺寸(直徑×厚度):Φ28 mm×6 mm,濾片與限孔須與光路垂直;

h) 平面鏡尺寸:200 mm×15 mm×12 mm,其中200 mm×15 mm為鏡面(兩邊有200 mm長(cháng)的1 mm倒角),平面鏡與光路的夾角滿(mǎn)足表3,平面鏡角度偏差不大于±0.05°;

i) 各通道平面鏡安裝采用分體式定角度鏡筒,安裝尺寸與XRD相同為4-Φ5.5@Φ68.5±0.2;

j) XRD安裝面與靶心距約為2600 mm,XRD外徑為Φ77 mm,安裝位置為4-Φ5.5@Φ68.5±0.2;

k) 調節組件具有指向與徑向調節及鎖定功能,可以保證濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件與瞄準系統整體軸向±4 mm的平移調節與±1°的角度調節要求,角度調節精度要達到0.01°;

l) 無(wú)限孔時(shí),靶點(diǎn)處發(fā)出的光可完全照亮XRD靈敏面(Φ10mm),有Φ5mm限孔時(shí)光斑須完全落在XRD靈敏面內,未經(jīng)平面鏡反射的光不得照射至XRD安裝端面;

m) 靶點(diǎn)瞄準精度為±1mm,采用凸透鏡成像方案瞄準,透鏡與分劃板均安裝在譜儀可調節部分,透鏡光軸與譜儀軸線(xiàn)重合,同軸度φ0.01mm,分劃板中心在透鏡光軸上,且垂直于透鏡光軸,調節譜儀軸線(xiàn)過(guò)靶點(diǎn),靶點(diǎn)的像呈現在分劃板中心位置,即完成瞄準;

n) 譜儀真空優(yōu)于3×10-3Pa(探測器位置處),漏率小于1×10-7PaL/s;

o) 譜儀重量輕,外形美觀(guān),經(jīng)常裝卸部件用螺釘型號一致。

2 重要技術(shù)指標檢測與驗收方法

a) 真空檢測

  通過(guò)真空檢漏儀進(jìn)行檢測,要求真空好于3×10-3Pa(探測器位置處),漏率小于1×10-7PaL/s。

b) 準直精度檢測

1)將安裝有限孔的譜儀安放于一穩定的位置。

2)在距離譜儀安裝法蘭端面1350 mm處設置靶點(diǎn),并以激光照亮。

3)調節譜儀,在分劃板中心觀(guān)測到靶點(diǎn)清晰的像。

4)利用分劃板在XRD安裝法蘭處觀(guān)察靶點(diǎn)的像,各通道成像中心均應分布在以分劃板中心為圓心半徑1 mm的圓內,否則為不合格。

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