薄膜制備設備 （PVD） 

• 磁控濺射鍍膜系統

• 離子束濺射鍍膜系統

• 蒸發(fā)鍍膜系統

• 脈沖激光濺射沉積系統

• 合場(chǎng)發(fā)射測試系統

• 高真空電子束蒸發(fā)/磁控濺射鍍膜系統

• 電阻蒸發(fā)

化學(xué)氣相沉積設備 （CVD） 

• PECVD

• CVD

• MOCVD

• LPP

• MBE分子束外延

陰極制備設備

沉積注入設備

真空熱處理設備 

• 高真空擴散焊爐

• 真空退火爐

• 真空快淬系統

• 高真空釬焊爐

• 管式爐

• 蒸餾提純

同步輻射光束線(xiàn)設備

納米制粉及熔煉設備

分析測試設備

環(huán)境模擬設備

真空排氣臺設備

用戶(hù)定制設備

真空靶室設備

真空標準件 

• 閥類(lèi)

• 樣品架

• 樣品架

• 轉軸

• 法蘭

• 其他真空標準件

真空校準設備

堿金屬充裝設備

等離子體研究設備

磁控濺射雙工位專(zhuān)用腔體及附件

光束線(xiàn)

堿金屬充裝

真空檢漏設備